CDM integruotas storio ir ploto tankio matuoklis

Paraiškos

Dengimo procesas: mažų elektrodo ypatybių aptikimas realiuoju laiku; dažnos mažos elektrodo ypatybės: atostogų badas (nėra srovės kolektoriaus nuotėkio, mažas pilkos spalvos skirtumas su normaliu dangos plotu, CCD identifikavimo sutrikimas), įbrėžimas, plonėjančios srities storio kontūras, AT9 storio aptikimas ir kt.

Siųskite mums el. laišką

Produkto informacija

Produkto žymės

Matavimo principai

Paviršiaus tankio matavimo principai

Rentgeno/β spindulių absorbcijos metodas

Storio matavimo principai

Koreliacija ir lazerinė trianguliacija

CDM techninių bandymų charakteristikos

1 scenarijus: Elektrodo paviršiuje yra 2 mm pločio iškritimas / trūkumas, o vienas kraštas yra storesnis (mėlyna linija, kaip parodyta žemiau). Kai spindulio dėmė yra 40 mm, išmatuotos pradinės duomenų formos (oranžinė linija, kaip parodyta žemiau) poveikis atrodo akivaizdžiai mažesnis.

2 scenarijus: dinaminio retinimo srities profilio duomenys, kai duomenų plotis 0,1 mm

Programinės įrangos funkcijos

Techniniai parametrai

Vardas	Indeksai
Skenavimo greitis	0–18 m/min.
Mėginių ėmimo dažnis	Paviršiaus tankis: 200 kHz; storis: 50 kHz
Paviršiaus tankio matavimo diapazonas	Paviršiaus tankis: 10–1000 g/m²; storis: 0–3000 μm;
Matavimo kartojimas tikslumas	Paviršiaus tankis: 16 s integralas: ±2σ: ≤±tikroji vertė * 0,2‰ arba ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±tikroji vertė * 0,25‰ arba +0,08 g/m²; 4s integralas: ±2σ: ≤±tikroji vertė * 0,4‰ arba ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±tikroji vertė * 0,6‰ arba ±0,18 g/m²;Storis: 10 mm zona: ±3σ: ≤±0,3μm; 1 mm zona: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1 mm zona: ±3σ: ≤±0,8μm;
Koreliacija R2	Paviršiaus tankis >99%; storis >98%;
Lazerio taškas	25 * 1400 μm
Radiacinės saugos klasė	GB 18871-2002 nacionalinis saugos standartas (radiacinės saugos išimtis)
Radioaktyviųjų medžiagų tarnavimo laikas šaltinis	β spinduliai: 10,7 metų (Kr85 pusinės eliminacijos laikas); rentgeno spinduliai: > 5 metai
Matavimo atsako laikas	Paviršiaus tankis < 1 ms; storis < 0,1 ms;
Bendra galia	<3 kW